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セミナー 技術 ナノファブスクエア「第6回陽極接合」

地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所

ナノファブスクエアin海老名について
 慶應義塾大学、早稲田大学、東京工業大学、東京大学からなる4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムでは、 川崎市、KISTECと連携し、産学連携による新しい技術や産業の創出を図るため、新川崎・創造のもりのナノ・マイクロ産学官共同研究施設『NANOBIC』において、4大学の先端機器によるナノファブスクエアを開催しています。
 ナノファブスクエアin海老名では、4回の講習・実習会を開催し、「首都圏地下鉄路線網シリコンマイクロ流路」をモデルチップとし、シリコン酸化、シリコン異方性エッチング、ナノパターン形成および陽極接合について学ぶことができます。

第6回陽極接合
 ガラスとマイクロ流路を形成したシリコン基板を陽極接合する講義・実習を行います。陽極接合は、シリコンMEMSチップ実装の封止に使用される技術です。

機関名 地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所
申込期限 2022年06月07日(火)
開催日 2022年06月23日(木)
参加費用 11,000円(税込、テキスト代込)
会場 (地独)神奈川県立産業技術総合研究所 海老名本部
PDF資料 ナノファブスクエア「第6回陽極接合」_リーフレット.pdf

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